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无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0。

洁净厂房使用验收后，应编写使用验收报告，其主要内容有：

1 洁净厂房中各种设施(包括生产工艺设备)等的开启状态描述;

2 测试的洁净室(区)人员及其活动情况的描述;

3 分项测试记录及分析意见(包括测试点位置、座标等);

4 测试仪器的有效校验证书;

5 验收出具相关结论。

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